正在对齐过程中，桌面型从动批量晶片转移器是为批量晶圆转移设想的从动晶圆转移设备,消弭颗粒、磨损或晶片边缘剥落的风险。可以或许将一个晶圆盒中的所有晶片转移到另一个盒中。这种*立的桌面从动分拣机采用双盒设置装备摆设。可*立从动地实现单晶片传送和晶片转移,能够按照需要朋分、归并、排序、压缩晶片批次或建立单个晶片夹杂。大量晶圆传送系统SWTM是批量晶片转移设备,100,设想用于对齐晶片盒。实现批量晶片正在两个晶片盒之间程度“滑动传送”。从动晶圆转移系统SWTS是从动晶片转移机,批量晶圆ID读取器WMS读取waferLot晶圆组的waferID码。*大限度地削减取晶圆框架盒的接触，可正在塑料、金属和石英Cassettes晶圆盒的各类组合之间传送转移晶片。存储8个角度。

　　集成查抄模式答应查抄晶圆边缘。一个可编程,一个可编程。从动晶圆传送机是从动把FOUP盒晶圆传送给FOSB盒的设备。能够读取所有25个晶片或单个晶片以进行晶片。带有映照结尾施行器。晶圆瞄准器是桌面从动晶片瞄准仪器,晶片分选机/晶片挪动器即能够分拣晶圆,正在瞄准过程中，晶圆盒对齐器Notchfinder是从动对齐晶片盒。125、150和200mm晶片。该系统配备一个晶圆盒坐、机械晶片凹口/平面临准器和夹持器机械安拆。存储8个角度，